防爆型清洗設備

特徵

Co2型自動滅火器，全罩式SUS Chemical Bench ，完整抽風系統，Solvent不外洩。

應用

適用於LED托蠟，wafer去ink，化學實驗室用Wet Bench等。

流程

ACETON OR IPA 溶劑洗		ACETON OR IPA 溶劑洗		N₂PURGE N_{2 吹乾}

		EXHAUST DRYER 排風乾燥

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